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MTSシリーズ スペクトル共焦点3D地形計測システム
MTSシリーズは、高度なスペクトル共焦点技術を採用し、非接触3D表面測定を実現。Z軸分解能は最大20nmという卓越した性能を誇ります。0.1μmの精度を持つリニアモータープラットフォーム、自動スキャン機能、マルチマテリアル対応など、多彩な機能を備えています。半導体バンプ検査、溝測定、レーザーマーキング解析など、幅広い用途に対応。独自のソフトウェアとAIアルゴリズムを統合し、効率的なデータ処理とリアルタイムレポートを提供します。エレクトロニクス、自動車、半導体業界における精密製造品質管理に最適です。
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MTSシリーズ3D地形計測システム
MTSシリーズは、分光共焦点技術を用いて高速かつ高精度な3D表面測定を実現し、Z軸分解能は20nmです。4軸自動プラットフォーム、6000Hzのサンプリングレート、Q-DTS/AI統合型インテリジェントソフトウェアを搭載しています。透明、反射性、粗面など、様々な素材に対応。半導体、自動車、電子機器業界におけるバンプ検出、溝測定、表面分析に、卓越した精度と効率性で最適です。
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