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MTSシリーズ スペクトル共焦点3D地形計測システム
MTSシリーズは、高度なスペクトル共焦点技術を採用し、非接触3D表面測定を実現。Z軸分解能は最大20nmという卓越した性能を誇ります。0.1μmの精度を持つリニアモータープラットフォーム、自動スキャン機能、マルチマテリアル対応など、多彩な機能を備えています。半導体バンプ検査、溝測定、レーザーマーキング解析など、幅広い用途に対応。独自のソフトウェアとAIアルゴリズムを統合し、効率的なデータ処理とリアルタイムレポートを提供します。エレクトロニクス、自動車、半導体業界における精密製造品質管理に最適です。
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