MTSシリーズ3D地形計測システム
MTSシリーズは、分光共焦点技術を用いて高速かつ高精度な3D表面測定を実現し、Z軸分解能は20nmです。4軸自動プラットフォーム、6000Hzのサンプリングレート、Q-DTS/AI統合型インテリジェントソフトウェアを搭載しています。透明、反射性、粗面など、様々な素材に対応。半導体、自動車、電子機器業界におけるバンプ検出、溝測定、表面分析に、卓越した精度と効率性で最適です。
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MTSシリーズ3D地形計測システムの応用例および関連試験ソリューション
MTSシリーズ3D地形計測システムは、鮮明な画像、安定した試験条件、信頼性の高い実験室または生産現場における品質管理を必要とする、精密な検査および分析作業をサポートします。
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革新的な3D計測技術
MTSシリーズは、非接触3D表面計測における画期的な製品であり、高度なスペクトル共焦点技術を活用することで、従来の測定方法の限界を克服しています。深度スタッキングを必要とする従来のデジタル顕微鏡や、走査速度の遅いレーザー共焦点システムとは異なり、MTSシステムは、高速な単一測定サイクルで完全な3D表面データを提供します。
コアテクノロジーの利点
このシステムの分光共焦点センサーは、光分散の原理に基づいて動作し、波長と距離の正確な対応関係を確立することで、卓越した測定精度を実現します。この技術により、以下のことが可能になります。
高速測定: リニアモーター駆動のXYプラットフォームにより6000Hzのサンプリングレートを実現し、従来のスクリュー駆動システムよりも4倍高速に動作します。
優れた解像度Z軸分解能は±80nmの精度で、2μmという微細な特徴を測定可能。
素材の多様性: 表面処理なしで、透明/不透明素材、反射面、粗面仕上げに対応します。
非接触操作サンプルの損傷を防ぎながら、測定の完全性を維持します。
時計の地形測定
高度なシステム構成
光学システムの卓越性
MTSは、複数の構成オプション（MTS 01/02）を備えた高度な光学モジュールを搭載し、0.2mmから10.6mmまでの測定範囲を提供します。このシステムは、高密度点収集（192～1200点/ライン）と高精度スポット制御（5～10μm間隔）を特長とし、表面全体を網羅的に測定できます。
精密モーションプラットフォーム
350×350mmの移動範囲を持つ4軸電動プラットフォーム
±0.XY位置決め精度および±0.15μmの繰り返し精度
Z軸ストローク5mm、位置決め精度±0.2μm
80mm/秒の高速スキャンと優れた安定性
インテリジェントソフトウェア統合
本システムは、スペクトル共焦点画像取得、ナビゲーションマッピング、および包括的な2D/3D計測機能を備えたプロ仕様の解析ソフトウェアを搭載しています。オプションのQ-DTSデータ相互接続とAvocado AIプラットフォームにより、高度な解析と複数の形式（Word、Excel）での自動レポート作成が可能です。
産業用途
MTSシリーズは、複数の業界において重要な品質管理機能を提供します。
半導体バンプ高さ測定、ウェーハ溝解析、欠陥検出
エレクトロニクス: プリント基板検査、部品の平面性検証
自動車表面形状解析、精密部品測定
医療機器インプラント表面品質、微細構造検査
研究開発材料特性評価、表面研究
競争上の優位性
代替技術と比較して、MTSシリーズは著しい改善を示しています。
デジタル顕微鏡との比較深度スタッキングの必要性を排除し、真の3Dデータを提供します。
レーザー共焦点システムとの比較測定速度の向上、視野の拡大
対白色光干渉法: 荒れた路面での性能向上、メンテナンスの軽減
従来の方法との比較高精度、自動操作、優れた再現性
本システムはモジュール設計を採用しているため、特定の用途ニーズに合わせてカスタマイズが可能でありながら、産業環境で求められる信頼性を維持しています。20年にわたる業界経験と約2,000社の産業顧客へのサービス実績を持つLionhearted Technologyは、MTSシリーズが最も厳しい計測要件を満たすことを保証します。
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