MTSシリーズ3D地形測定システム
MTSシリーズは、スペクトル共焦点技術を用いて高速かつ高精度な3D表面測定を実現し、Z軸分解能20nmを実現します。4軸自動化プラットフォーム、6000Hzのサンプリングレート、Q-DTS/AI統合型インテリジェントソフトウェアを搭載。透明面、反射面、粗面など、多様な材料に対応します。半導体、自動車、エレクトロニクス業界において、バンプ検出、溝測定、表面分析など、卓越した精度と効率性を実現します。
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革新的な3D測定技術
MTSシリーズは、高度なスペクトル共焦点技術を駆使し、従来の測定方法の限界を克服する、非接触3D表面計測における画期的な製品です。深度スタッキングを必要とする従来のデジタル顕微鏡や、スキャン速度の遅いレーザー共焦点システムとは異なり、MTSシステムは、1回の高速測定サイクルで完全な3D表面データを提供します。
コアテクノロジーの優位性
このシステムのスペクトル共焦点センサーは光分散原理に基づいて動作し、波長と距離を正確に対応させることで、卓越した測定精度を実現します。この技術により、以下のことが可能になります。
高速測定: リニアモーター駆動のXYプラットフォームによる6000Hzのサンプリングレートは、従来のネジ駆動システムよりも4倍高速に動作します。
優れた解像度: Z軸分解能は±80nmの精度で、2μmの小さな特徴を測定可能
素材の多様性: 透明/不透明素材、反射面、表面処理なしの粗い仕上げに対応
非接触操作: 測定の完全性を維持しながらサンプルの損傷を防ぎます
時計の地形測定
高度なシステム構成
光学システムの卓越性
MTSは、複数の構成オプション（MTS 01/02）を備えた高度な光学モジュールを搭載し、0.2mmから10.6mmまでの測定範囲を提供します。高密度のポイント収集（1ラインあたり192～1200ポイント）と高精度のスポット制御（5～10μm間隔）を特徴とし、広範囲の表面カバレッジを実現します。
精密モーションプラットフォーム
350×350mmの移動範囲を持つ4軸電動プラットフォーム
±0. XY位置決め精度と±0.15μmの再現性
5mmのZ軸ストローク、±0.2μmの位置決め精度
優れた安定性を備えた80mm/秒の高速スキャン
インテリジェントなソフトウェア統合
このシステムには、スペクトル共焦点画像取得、ナビゲーションマッピング、そして包括的な2D/3D測定機能を備えたプロフェッショナル解析ソフトウェアが組み込まれています。オプションのQ-DTSデータ相互接続とAvocado AIプラットフォームにより、高度な解析と複数の形式（言葉、エクセル）での自動レポート作成が可能になります。
産業用途
MTS シリーズは、さまざまな業界で重要な品質管理機能を提供します。
半導体: バンプ高さ測定、ウェーハ溝解析、欠陥検出
エレクトロニクス: PCB検査、部品の平坦性検証
自動車：表面形状解析、精密部品測定
医療機器: インプラント表面品質、微細構造検査
研究開発: 材料特性評価、表面研究
競争上の優位性
代替技術により、MTS シリーズは大幅な改善を実現しています。
デジタル顕微鏡と比較: 深度スタッキングの要件を排除し、真の3Dデータを提供します
レーザー共焦点システムとの比較: より速い測定速度、より広い視野
白色光干渉法との比較: 粗い路面でのパフォーマンスが向上し、メンテナンスの手間が軽減されます
従来の方法と比較: より高い精度、自動化された操作、優れた再現性
システムのモジュール設計により、特定のアプリケーションニーズに合わせてカスタマイズが可能でありながら、産業環境に求められる信頼性も維持されています。ライオンハート Technologyは、20年にわたる業界経験と約2,000社の産業顧客へのサービス提供を通じて、MTSシリーズが最も厳しい測定要件を満たすことを保証しています。
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