-
MTSシリーズ スペクトル共焦点3Dトポグラフィー測定システム
MTSシリーズは、高度なスペクトル共焦点技術を駆使した非接触3D表面測定により、最大20nmの優れたZ軸分解能を実現します。0.1μm精度のリニアモータープラットフォーム、自動スキャン機能、そしてマルチマテリアル対応を特長としています。半導体バンプ検査、溝測定、レーザーマーク解析など、様々なアプリケーションに対応しています。独自のソフトウェアとAIアルゴリズムを統合し、効率的なデータ処理とリアルタイムレポート作成を実現します。電子機器、自動車、半導体業界における精密製造品質管理に最適です。
Send Email 詳細
