MTSシリーズスペクトル共焦点3D地形計測システム

MTSシリーズは、高度なスペクトル共焦点技術を採用し、非接触3D表面測定を実現。Z軸分解能は最大20nmという卓越した性能を誇ります。0.1μmの精度を持つリニアモータープラットフォーム、自動スキャン機能、マルチマテリアル対応など、多彩な機能を備えています。半導体バンプ検査、溝測定、レーザーマーキング解析など、幅広い用途に対応。独自のソフトウェアとAIアルゴリズムを統合し、効率的なデータ処理とリアルタイムレポートを提供します。エレクトロニクス、自動車、半導体業界における精密製造品質管理に最適です。

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MTSシリーズ分光共焦点3D地形計測システムの応用例および関連試験ソリューション

MTSシリーズ分光共焦点3D地形測定システムは、鮮明な画像、安定した試験条件、信頼性の高い実験室または生産現場における品質管理を必要とする精密検査および分析作業をサポートします。

技術概要

MTSシリーズは、光分散原理に基づき距離と波長の正確な対応関係を確立するスペクトル共焦点技術を採用した、3D表面計測における画期的な製品です。この先進的なシステムにより、透明/不透明材料、反射面、着色試料など、様々な材料表面の高精度な測定が可能になります。従来の測定方法とは異なり、MTSシステムはZ軸スキャンを必要としないため、より高速かつ高精度な測定結果が得られます。

このコア技術は、白色光を光軸に沿って異なる距離に集光させる高度な光学システムを採用しており、焦点において可視光の全波長帯をカバーします。この革新的なアプローチにより、従来の測定技術の限界を克服し、困難な測定環境においても優れた性能を発揮します。

主な技術的利点

MTS Series Spectral Confocal 3D Topography Measurement System

高精度測定機能

MTSシリーズは、Z軸分解能が20nmと非常に細かく、精度が±80nm以内という優れた測定精度を実現しています。このシステムは、X軸とY軸の両方に高精度グレーティングスケール（0.1μm）を搭載し、卓越した位置決め精度を保証します。スペクトル共焦点センサー技術により同軸測定が可能となり、影の影響を排除し、反射面では最大45°、拡散面では最大80°の傾斜角を持つ表面での測定を可能にします。

先進モーションシステム

このシステムは、350×350mmの標準移動範囲を持つ4軸リニアモーター駆動プラットフォームを備え、最大80mm/sのスキャン速度を実現します。XY軸の位置決め精度は±0.3μm、繰り返し精度は±0.15μmに達し、Z軸は5mmの移動範囲で±0.2μmの位置決めが可能です。この高速高精度移動システムにより、従来のスクリュー駆動プラットフォームと比較して測定効率が大幅に向上します。

複数素材との互換性

MTSシステムの大きな利点は、調整なしで多様な材料を測定できることです。この技術は、不透明／透明材料、拡散面／反射面、吸収性材料、着色試料、粗面／研磨面など、あらゆる材料に対応します。この汎用性により、複雑なセットアップ手順を必要とせずに、さまざまな産業用途に適しています。

システムコンポーネントと仕様

光モジュール構成

本システムは、0.2mmから10.6mmまでの測定範囲で複数の構成オプションを提供し、1ラインあたり192～1200ポイントをサポートします。スポット径は最小2μmまで小さくすることができ、優れた横方向分解能を実現します。また、特定のアプリケーション要件に対応するモデルも用意されており、高速アプリケーション向けには最大36,000Hzのサンプリングレートを実現します。

ソフトウェアおよび分析機能

統合ソフトウェアシステムは、長さ、幅、高さ、角度、体積計算など、2Dおよび3D計測のための包括的な解析ツールを提供します。このシステムは、複数のフォーマットでの自動レポート作成をサポートし、Q-DTSデータ相互接続プラットフォームおよびAvocado AI画像解析プラットフォームと統合することで、機能をさらに強化できます。

アプリケーションシナリオ

半導体産業

MTSシリーズは、バンプ高さ測定、溝深さ／幅解析、ウェーハ検査など、半導体用途において優れた性能を発揮します。高精度かつ多機能なシステムであるため、チップ製造およびパッケージング工程における品質管理に最適です。

電子機器製造

プリント基板および電子部品の検査において、本システムは回路パターン、はんだ接合部の品質、および部品の平面度を高精度で測定します。非接触測定方式を採用しているため、繊細な電子部品を損傷することなく検査できます。

自動車および精密工学

この技術は、自動車部品の検査、機械部品の測定、表面品質評価など、さまざまな精密工学分野に応用可能です。多様な表面タイプに対応できるシステムであるため、幅広い製造用途において非常に有用です。

High-Speed Automated Metrology Solution

カスタマイズと統合

MTSシリーズは、より大型のプラットフォームや特殊なソフトウェア機能など、幅広いカスタマイズオプションに対応しています。Q-DTSプラットフォームを介して既存の製造実行システム（MES）と統合することで、リアルタイムのデータ交換とプロセス最適化が可能になります。モジュール設計により、計測要件の変化に応じて将来的なアップグレードや拡張にも対応できます。