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MTSシリーズ3D地形計測システム
MTSシリーズは、分光共焦点技術を用いて高速かつ高精度な3D表面測定を実現し、Z軸分解能は20nmです。4軸自動プラットフォーム、6000Hzのサンプリングレート、Q-DTS/AI統合型インテリジェントソフトウェアを搭載しています。透明、反射性、粗面など、様々な素材に対応。半導体、自動車、電子機器業界におけるバンプ検出、溝測定、表面分析に、卓越した精度と効率性で最適です。
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