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MTSシリーズ3D地形測定システム
MTSシリーズは、スペクトル共焦点技術を用いて高速かつ高精度な3D表面測定を実現し、Z軸分解能20nmを実現します。4軸自動化プラットフォーム、6000Hzのサンプリングレート、Q-DTS/AI統合型インテリジェントソフトウェアを搭載。透明面、反射面、粗面など、多様な材料に対応します。半導体、自動車、エレクトロニクス業界において、バンプ検出、溝測定、表面分析など、卓越した精度と効率性を実現します。
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MTSシリーズ スペクトル共焦点3Dトポグラフィー測定システム
MTSシリーズは、高度なスペクトル共焦点技術を駆使した非接触3D表面測定により、最大20nmの優れたZ軸分解能を実現します。0.1μm精度のリニアモータープラットフォーム、自動スキャン機能、そしてマルチマテリアル対応を特長としています。半導体バンプ検査、溝測定、レーザーマーク解析など、様々なアプリケーションに対応しています。独自のソフトウェアとAIアルゴリズムを統合し、効率的なデータ処理とリアルタイムレポート作成を実現します。電子機器、自動車、半導体業界における精密製造品質管理に最適です。
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