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HEM6000高速走査型電子顕微鏡
高速スキャンドライバー 滞留時間：10 ns/ピクセル、最大取得速度：2×100Mピクセル/秒 電子フィルタリングシステム SE/BSE信号を自由に切り替え可能、信号の混合比も調整可能。 全静電 高速
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DB550 Ga+集束イオンビーム電界放出走査型電子顕微鏡
DB550は、Ga+集束イオンビーム（FIB）カラムと電界放出型走査電子顕微鏡（SEM）を統合した装置で、「スーパートンネル」電子光学系（低収差、非磁性レンズ）、3nm@30kVイオン分解能、0.9nm@15kV SEM分解能を備えています。ナノマニピュレータ（精度≤10nm）、ガス注入システム（シングルGIS、±0.1℃の温度制御）、8インチ対応ロードロックを搭載しています。ナノ加工、半導体故障解析、材料特性評価に最適で、自動化されたワークフローと拡張可能な検出器（EDS/EBSD/STEM）を備えています。
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