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DB550 ガ+集束イオンビーム電界放出走査電子顕微鏡
DB550は、ガ+集束イオンビーム（FIB）カラムと電界放出SEMを統合した装置で、「スーパートンネル」電子光学系（低収差、無磁場レンズ）、3nm@30kVイオン分解能、0.9nm@15kV SEM分解能を備えています。ナノマニピュレータ（精度≤10nm）、ガスインジェクションシステム（シングルGIS、±0.1℃の温度制御）、8インチ対応ロードロックも搭載しています。自動化ワークフローと拡張可能な検出器（EDS/EBSD/幹）を備え、ナノファブリケーション、半導体故障解析、材料特性評価に最適です。
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HEM6000高速走査電子顕微鏡
高速スキャンドライバー 滞留時間: 10 ns/ピクセル; 最大取得速度: 2×100Mピクセル/秒 電子フィルタリングシステム 南東/BSE信号を自由に切り替えることができ、信号の混合比率も調整可能です。 全静電高速偏向システム 高解像度の広視野モードを実現できます。4nmのピクセルサイズで、最大視野は32μm×32μmに達します。 サンプルステージ減速技術 入射電子の着地電圧を低減し、同時にリサイクル電子の収集効率を向上させます。 液浸電磁複合対物レンズ 対物レンズの磁場がサンプルを浸漬し、低収差と高解像度を実現します。
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