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SEM-Xシリーズ 超高解像度ショットキー電界放出走査電子顕微鏡
SEM-Xシリーズは、低電圧イメージングで画期的な分解能（0.6nm@15kV、1.2nm@1kV）を実現し、サンプルへのダメージを最小限に抑えます。「スーパートンネル」電子光学系、静電電磁複合レンズ、デュアルビーム減速技術を統合し、収差のない性能を実現します。低真空モード（10～180Pa）、8インチ対応ロードロック、そして多様な分析を可能にするマルチ検出器システム（UD-南東/BSE、LD、LVD）などを備えています。半導体、材料科学、ライフサイエンス分野に最適で、探索アプリケーションの自動化と拡張性を実現します。
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