-
ホット
SEM-Xシリーズ 超高解像度ショットキー電界放出型走査電子顕微鏡
SEM-Xシリーズは、低電圧イメージングにより試料への損傷を最小限に抑えながら、画期的な解像度（0.6nm@15kV、1.2nm@1kV）を実現します。「スーパートンネル」電子光学系、静電電磁複合レンズ、デュアルビーム減速技術を統合し、収差のない性能を提供します。低真空モード（10～180Pa）、8インチ対応ロードロック、多検出器システム（UD-SE/BSE、LD、LVD）などの機能を備え、多様な分析に対応します。半導体、材料科学、ライフサイエンス分野に最適で、研究用途向けの自動化と拡張性を提供します。
Send Email 詳細
