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半導体検査用C-SAM SAT走査型音響顕微鏡
C-SAM/SATは、5～500MHzの帯域幅、1200mm/sのスキャン速度、およびマルチモード動作（手動／半自動／自動）を備えた非破壊超音波イメージングを提供します。SAM Auto Lineは、パレット循環、自動レビューソフトウェア、およびロボットハンドリング機能を備え、IGBT/MEMSの欠陥（ボイド、剥離）の自動検出を可能にし、半導体および医療機器の正確かつ効率的な品質管理を保証します。
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